以静“致”动——波长调制如何重新定义超精密光学面形检测？

作为“光学加工-光学计量” 闭环里最核心的计量设备，菲索式干涉仪通过采集被测表面与标准镜之间的干涉条纹，解算出纳米级精度的表面面形。而解算的关键，在于相位调制——需要改变干涉腔的光程差，采集多帧不同相位下的条纹图，再通过算法还原出真实的波前信息。

几十年来，压电陶瓷（PZT）推动标准镜做机械移相，一直是业界的主流方案。它简单、成熟、可靠——直到我们开始追求亚纳米级的测量精度。

面对上述四大困境，波长调制技术给出了一套完全不同的解题思路。

针对困境1&2：无机械运动 → 无振动耦合，且与姿态、负载完全解耦，无需反复校准；

针对困境3：无需推动重镜 → 大口径下依然轻松驾驭；

针对困境4（灵魂解决）：波长变化引起的相位改变，对球面波前上每一点都是等比例且沿波前法线方向的，完美消除了PZT带来的"中心-边缘"不均匀误差。干涉腔在物理上完全"静"的状态下，完成了相位"动"的调制。

德国XONOX公司 X-fiz菲索式激光干涉仪，采用模块化光纤激光光源接口；您可以快速将一台压电陶瓷采样模式的 X-fiz干涉仪，切换光源，升级到波长调制采样模式。您甚至可以在一台 X-fiz上保留两种采样模式，自由地在压电陶瓷和波长调制模式间切换。

X-fiz在波长调制模式下，可以和模式化抗振算法结合，通过抗振算法，迭代解算出干涉腔实际腔长，精准匹配相移步距；同时通过模式化抗振迭代算法，大幅降低振动造成的影响。

XONOX公司 X-fiz 100mm口径干涉仪，VT 1200下置上视工作站，波长调制算法下，30mm平面腔，办公室环境实测波前重复性数据如下：

X-fiz 立式系统VT1200，在抗振波长调制模式下，平面透射波前重复性优于0.25nm，能稳定满足光刻物镜级别超高精度计量需求。